天眼查App显示，2025年4月22日，「一种大尺寸碳化硅的电火花线切割加工装置」正式进入专利权的授权阶段。申请人为苏州三光科技股份有限公司，该项加工设备专利涉及大尺寸碳化硅材料的高效切割技术。据专利信息显示，通过优化切割方式，实现对12寸以上晶圆衬底的精准切割，显著优化了加工效率和精度。发明人为顾圣达、顾岭、赵前军。 「本实用新型提供了一种大尺寸碳化硅的电火花线切割加工装置，包括主体组件和固定组件，利用丝杆转动带动电极丝移动对碳化硅进行切割，并结合驱动电机带动碳化硅晶锭转动，实现旋转加工分区切割，有效降低电极丝对碳化硅的切割厚度，突破了大直径碳化硅材料加工的技术瓶颈。」

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