天眼查App显示，2025年4月22日，「匀流组件以及镀膜设备」正式进入专利权的授权阶段。申请人为江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司，该项镀膜技术专利涉及气体匀流与镀膜设备的设计优化。据专利信息显示，该技术实现了显著优化的效果。发明人为宗坚、陶永奇。

本实用新型的实施例提供一种匀流组件以及镀膜设备。所述匀流组件用于气体的匀流，包括：一级匀流板，用于将所述气体向四周扩散；以及二级匀流板，沿着所述气体的气流方向位于所述一级匀流板的下游，所述二级匀流板设有多个第一通气孔。所述镀膜设备包括：镀膜腔体，包括用于放置待镀膜的基材的镀膜腔室；以及匀流组件，设置于所述镀膜腔室内。

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