天眼查App显示,2025年4月22日,「一种Mini/MicroLED孔内镀膜方法」正式进入专利的公布阶段。申请人为江西沃格光电集团股份有限公司,该项半导体技术专利涉及Mini/Micro LED技术领域,尤其是一种孔内镀膜方法。据专利信息显示,该方法可以显著优化孔内导电材料的附着性能,避免膜层脱落现象的发生。发明人为易伟华、张迅、郑芳平、欧阳小园和徐彬彬。
本发明具体包括以下步骤:S1)激光打孔;S2)采用柠檬酸浸泡;S3)采用氢氟酸溶液浸泡;S4)在得到的玻璃A面沉积铟,得到A面铟层,A面孔内沉积铟在B面放置磁铁下进行;S5)得到的玻璃B面沉积铟后,得到B面铟层,再沉积铜,得到B面铜层,B面孔内沉积铟和铜在A面放置磁铁下进行;S6)在得到的玻璃A面沉积铜,得到A面铜层,A面孔内沉积铜是在B面放置磁铁下进行;S7)在得到的玻璃铜层表面贴干膜,曝光,蚀刻,除去干膜,得到Mini/Micro LED线路板。最终实现每个小孔内边缘镀上导电材料,显著提升Mini/Micro LED器件的可靠性与性能。
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