天眼查App显示，导语：
近日，晶瑞电子材料股份有限公司及其关联公司的一项发明专利正式公布，涉及一种平板显示用ITO及IGZO蚀刻液的制备方法。该专利旨在提升蚀刻液的选择性、可控性和表面质量，适用于平板显示领域。

关键点：
- 主体单位： 晶瑞电子材料股份有限公司、晶瑞（湖北）微电子材料有限公司、江苏阳恒化工有限公司
- 专利类型： 发明专利
- 申请时间： 2025年1月21日
- 公布时间： 2025年4月18日
- 核心内容： 蚀刻液由混合酸、磷酸盐、缓冲剂等组成，具有高选择性、良好可控性和优异表面质量。蚀刻速率为18-20Å/秒，单边CDloss≤0.8um，容纳（In，Sn）≤3000ppm。
- 地址： 江苏省苏州市吴中经济开发区河东工业园善丰路168号
- 联系方式： 苏州创智慧成知识产权代理事务所

此发明为平板显示技术提供了更优解决方案，推动行业发展。

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