天眼查App显示，导语： 杭氧集团股份有限公司于2025年4月18日公布了其发明专利，涉及一种从半导体制程尾气中回收氦气的装置系统及方法。该技术属于尾气处理领域，旨在提高氦气回收率和纯度。

关键点：
- 专利类型： 发明专利
- 申请时间： 2025年3月20日
- 公布时间： 2025年4月18日
- 核心技术： 通过吸附装置、膜分离组件和气体提纯塔实现低浓度氦气回收与提纯，纯度可达99.999%以上。
- 特点： 全程无气体排空，能耗低，适用于半导体多种制程。
- 申请人： 杭氧集团股份有限公司及邓波等发明人
- 地址： 浙江省杭州市临安区青山湖街道相府路799号

如有进一步需求，可联系杭氧集团股份有限公司。

免责声明：本文内容由开放的智能模型自动生成，仅供参考。