天眼查App显示，导语： 江苏微导纳米科技股份有限公司的一项发明专利于2025年4月18日公布，涉及沉积系统和晶圆放置检测方法，旨在提升晶圆生产过程中的安全性与效率。

关键点：
- 主体单位： 江苏微导纳米科技股份有限公司
- 专利类型： 发明专利
- 核心内容： 提出一种沉积系统及晶圆放置检测方法，通过探测装置避免晶圆放置异常导致的损坏。
- 关键技术： 包括设备主体、载台、支撑件和探测装置，光路设计低于抓取位置处的晶圆。
- 申请时间： 2024年12月27日
- 公布时间： 2025年4月18日
- 地址： 江苏省无锡市新吴区长江南路27号

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