东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请发明专利:电子光学系统校准装置及半导体检测设备

天眼查App显示,东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司于2025年1月8日申请了一项名为“电子光学系统校准装置及半导体检测设备”的发明专利,专利号为CN202510031324.X,并于2025年4月18日正式公布。该专利涉及基本电气元件领域,旨在提高电子光学系统的校准精度和互换性。

关键点:
1. 核心内容:专利提供了一种电子光学系统校准装置,包括柔性校准件和测量仪器,用于提高校准精度和系统互换性。
2. 申请时间:2025年1月8日。
3. 公布时间:2025年4月18日。
4. 申请单位:东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司。
5. 地址:北京市大兴区北京经济技术开发区经海四路156号院12号楼。
6. 专利类型:发明专利。

该专利的公布标志着东方晶源在半导体检测设备领域的技术创新迈出重要一步。

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