天眼查App显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司近日公布了一项发明专利，涉及电子束检测设备的光阑定位精度检测方法及相关产品。该专利旨在通过定量检测光阑定位精度，为设备检测精度提供依据。

关键点：
- 专利名称：电子束检测设备的光阑定位精度的检测方法及相关产品
- 专利号：CN202510013239.0
- 申请时间：2025年1月3日
- 公布时间：2025年4月18日
- 申请人：东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司
- 发明人：李帅辰、张立杰
- 核心内容：通过获取基准图像和基准对中坐标，重复执行光阑移动对准流程，计算光阑定位精度，为设备检测精度提供判断依据。

该专利的公布标志着电子束检测设备精度检测技术的进一步突破，为相关领域提供了重要技术支持。

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