海目星激光科技集团股份有限公司申请芯片载板间隙测量系统专利

天眼查App显示,导语:海目星激光科技集团股份有限公司于2024年12月5日申请了一项名为“一种上下测量芯片载板间隙的系统及方法”的发明专利,专利公布日期为2025年4月15日。该专利旨在解决芯片载板间隙测量中的技术难题。

关键点:
1. 专利名称:一种上下测量芯片载板间隙的系统及方法。
2. 申请人:海目星激光科技集团股份有限公司,地址位于广东省深圳市龙华区。
3. 申请时间:2024年12月5日。
4. 公布日期:2025年4月15日。
5. 专利类型:发明专利,分类号为G01B11/14。
6. 技术亮点:通过上下测距仪间接计算芯片载板间隙,无需光束穿透载板,解决了传统测量方法的局限性。

该专利的公布将推动芯片制造领域测量技术的进一步发展。

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