天眼查App显示，北京北方华创微电子装备有限公司于2024年12月30日申请了一项名为“排流装置、晶圆清洗设备及排流装置的控制方法”的发明专利，专利号为CN202411976267.4，预计于2025年4月15日公布。

关键点：
1. 专利内容：涉及一种排流装置及其控制方法，用于晶圆清洗设备，包括回收容器、流体管路、切换组件及负压装置。
2. 申请人：北京北方华创微电子装备有限公司，地址位于北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号。
3. 公布时间：专利将于2025年4月15日正式公布。
4. 技术领域：属于气体或液体的贮存或分配领域，适用于半导体制造中的晶圆清洗设备。

该专利的申请标志着北方华创在半导体设备领域的进一步技术创新。

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