天眼查App显示，导语： 江苏微导纳米科技股份有限公司于2025年4月11日公开了一项名为“Ru薄膜沉积工艺”的发明专利，涉及半导体技术领域。该专利旨在提升Ru薄膜的成核密度与效率，减少原子层沉积工艺的总循环数。

关键点：
- 申请人：江苏微导纳米科技股份有限公司
- 公开时间：2025年4月11日
- 核心技术：利用金属有机化合物前体材料作为中介层，增强Ru前驱体在衬底上的吸附密度
- 地址：江苏省无锡市新吴区长江南路27号
- 联系方式：未提供具体联系方式

专利亮点： 提高Ru薄膜成核效率，降低工艺复杂度，适用于半导体制造领域。

免责声明：本文内容由开放的智能模型自动生成，仅供参考。