天眼查App显示,合肥芯碁微电子装备股份有限公司于2025年4月11日公布了一项名为“LDI曝光机的对位方法和LDI曝光机”的发明专利(专利号:CN202510224817.5)。该专利旨在提升LDI曝光机的对位速度,解决相机冗余问题。
关键点:
- 专利名称:LDI曝光机的对位方法和LDI曝光机
- 申请人:合肥芯碁微电子装备股份有限公司
- 公布时间:2025年4月11日
- 核心内容:通过控制运动平台和对准相机,优化基板定位点的图像采集与对位流程,提升设备效率。
- 地址:安徽省合肥市高新区长宁大道789号1号楼
- 代理机构:北京景闻知识产权代理有限公司
该专利的公布标志着合肥芯碁在LDI曝光机技术领域的进一步创新突破。
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