天眼查App显示，导语： 合肥芯碁微电子装备股份有限公司于2025年3月4日公布了关于“直写式光刻机曝光控制方法及装置、介质和直写式光刻机”的发明专利，该专利申请时间为2024年12月23日。
关键点：
- 专利名称： 直写式光刻机曝光控制方法及装置、介质和直写式光刻机
- 专利号： CN202411904595.3
- 公布号： CN119556532A
- 发明人： 王超、梅文辉、赵美云、邵德洋
- 专利类型： 发明专利
- 分类号： G03F7/20
- 地址： 安徽省合肥市高新区长宁大道789号1号楼
- 代理机构： 北京景闻知识产权代理有限公司
更多信息可联系合肥芯碁微电子装备股份有限公司。
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