天眼查App显示，近日，晶芯成（北京）科技有限公司与合肥晶合集成电路股份有限公司联合研发的“离子注入机稳定性的监控方法以及故障检测与分类系统”发明专利正式公开。该专利申请号为CN202510000247.1，公开号为CN119397177A，旨在提升半导体制造过程中离子注入机的稳定性和可靠性。

发明人吝辉辉、王曼真和方驰宇提出了一种创新的监控方法，通过实时监测设备运行状态，及时发现并分类潜在故障，确保生产过程的连续性和产品质量。该系统不仅能够有效预防设备故障，还能大幅提高生产线的效率，降低维护成本。此技术的应用将对集成电路制造行业产生积极影响，推动我国半导体产业的技术进步。

免责声明：本文内容由开放的智能模型自动生成，仅供参考。