日本纸业巨头王子控股(Oji Holdings)正加速向木制材料综合企业转型,其最新研发方向为木基生物质材料的正性光刻胶。该技术从木材中提取前体材料,通过特定溶剂混合聚合并净化杂质,最终制成光刻胶成品。王子控股宣称,其木基光刻胶可满足2nm先进制程需求,且在EUV极紫外光下的降解速率比传统产品高出8倍,消除了对有害化学品PFAS的依赖,更具环保性。
此外,传统光刻胶多依赖石油基塑料,而木基光刻胶在原料上减少了温室气体排放。王子控股计划到2028年实现商业化,并期望在本世纪30年代达到每年100亿日元的销售额。这一创新技术有望为半导体行业带来更环保、高效的解决方案。
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