天眼查App显示，近日，浙江求是半导体设备有限公司与浙江晶盛机电股份有限公司联合研发的“图像采集装置、硅片检测设备和硅片检测方法”获得国家发明专利授权。该技术通过创新的图像采集装置设计，能够在保证图像像素精度的同时，大幅提升硅片检测的效率。

据悉，该图像采集装置包括机架和至少一个线扫检测单元。硅片输送线沿硅片组的运输方向贯穿机架，线扫检测单元的镜头拍摄方向平行于硅片组的运输平面，能够沿竖直方向采集硅片组的边沿图像。这一设计不仅简化了检测流程，还提高了缺陷检测的准确性。

该技术的应用将有助于半导体制造企业提高生产效率，降低生产成本。浙江求是半导体设备有限公司表示，未来将继续加大研发投入，推动半导体检测技术的进一步发展。

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