天眼查App显示,海光信息技术股份有限公司于2024年9月25日公开了一项重要的发明专利,专利号为CN202411345421.8,名称为“基片通孔的制作方法、中介层的制作方法、封装结构的制作方法及封装方法”。该专利由方英举发明,涉及集成电路技术领域,旨在通过创新的工艺步骤,降低对工艺均匀性的要求,从而大幅提升加工良率。
根据专利摘要,该技术首先在衬底的第一表面形成至少两个第一孔洞,每个孔洞的底部和侧壁均覆盖有第一绝缘层和第一金属层。随后,通过研磨减薄衬底的第二表面,使第一孔洞从第二表面露出。接着,在第二表面设置第二绝缘层,并通过刻蚀工艺使第一孔洞从第二绝缘层中露出,最终形成基片通孔。
这一技术的应用有望在集成电路制造中带来显著的效率提升,尤其是在高精度、高复杂度的封装结构中,能够有效减少工艺缺陷,提高产品的可靠性和性能。海光信息技术股份有限公司表示,该专利的公开标志着公司在集成电路技术领域的又一重要突破,未来将进一步推动相关技术的产业化应用。
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