天眼查App显示,盛美半导体设备(上海)股份有限公司于2023年6月29日申请了一项名为“一种电镀设备的静电消除装置及方法”的发明专利,并于2024年12月31日正式公开。该专利由陆陈华、孙凯凯、贾照伟、王坚、王晖等发明人共同研发,旨在解决电镀设备在运行过程中静电积聚的问题。
该静电消除装置包括桨叶安装件、导电件和控制件。桨叶安装件位于电镀腔内,用于安装桨叶;导电件一端连接桨叶安装件,另一端接地;控制件则根据电镀腔内部的状态参数,确定设备的目标状态,并控制导电件在目标状态下与地接通,从而消除静电。
该技术的应用将有效提升电镀设备的安全性和稳定性,减少因静电积聚导致的设备故障和生产事故。盛美半导体表示,该装置不仅适用于半导体行业,还可广泛应用于其他需要电镀工艺的领域。
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